Diffusion barrier performance of Zr-N/Zr bilayered film in Cu/Si contact system
发布时间：2024-02-28
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- 发表刊物：
- MICROELECTRONICS RELIABILITY
- 卷号：
- 11-12
- 页面范围：
- 1800-1803
- ISSN号：
- 0026-2714
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2008-01-01