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Diffusion barrier performance of Zr-N/Zr bilayered film in Cu/Si contact system

发布时间:2024-02-28
点击次数:
发表刊物:
MICROELECTRONICS RELIABILITY
卷号:
11-12
页面范围:
1800-1803
ISSN号:
0026-2714
是否译文:
发表时间:
2008