大型积分视场单元（IFU）关键技术研究
Release time:2023-11-04
Hits:
- Affiliation of Participant(s):
- 理学院
- Status:
- 审核通过
- Supported by:
- 国家自然科学基金委员会
- Nature of Project:
- 孙伟民
- Project Number:
- KY11100160014
- Date of Project Completion:
- 2020-12-31
- Date of Project Initiation:
- 2017-01-01
- Pre One:精密制造中的补偿和测量关键技术研究-自支撑薄膜厚度计量标准装置
- Next One:新型积分视场单元研制与开发