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所属单位：哈尔滨工程大学

学校署名：哈尔滨工程大学

发明设计人：严云翔,刘世杰,陈旭东,闫奇,耿涛,王佳斌,金夕人

专利说明：本发明公开了一种石英微孔板低压腐蚀方法，属于加工工艺领域。当石英微孔板中微孔尺寸小于需求尺寸时，给出一种腐蚀扩孔方法。

专利类型：发明

专利状态：授权专利

申请号：CN202111500933.3

授权号：CN114163135B

是否职务专利：否

第一作者：孙伟民