Research Focus

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微纳加工及MEMS光纤智能传感

主要开展微纳加工技术及MEMS光纤智能传感、光电检测相关领域的研究工作。

利用微纳加工技术制备MEMS敏感单元,用于实现对声/压力/温度/振动等多参量的感知;利用光纤干涉原理的探测系统,实现对敏感器件响应的解算;进一 步结合人工智能技术,构成MEMS光纤智能传感系统。

在基础技术研究方面,重点研究

1)基于新机理、新结构的MEMS敏感单元的设计研究;

2)结合光纤传感的MEMS传感器的制备和集成工艺研究;

3)用于MEMS光纤传感器的光学信号快速高精度解调及复用技术研究;

4)探索人工智能技术在MEMS光纤传感器领域的应用。

在应用技术研究方面,重点研究

1)基于仿生技术的高性能智能声传感系统;

2)适应于极端恶劣环境的多参量同步测量传感系统。